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納米光刻中的壓電掃描臺

更新時間: 2020-04-20

納米光刻是一種全新的納米圖形復制方法,實質(zhì)是將傳統(tǒng)的模具復型原理應(yīng)用到微觀制造領(lǐng)域。首先計算機將BMP圖轉(zhuǎn)化成灰度圖,然后再通過二維掃描臺,帶動鍍膜鏡片對讀取的圖像信息進行優(yōu)化,同時控制激光器及掃描臺,完成圖像的納米定位加工。納米光刻技術(shù)是制作納米結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵,具有廣闊的應(yīng)用前景。

利用芯明天P12系列XY二維掃描臺,可帶動鍍膜鏡片對讀取的圖像信息進行優(yōu)化,同時控制激光器及掃描臺,二者配合完成圖像的納米精度加工。

P12.XY100二維壓電掃描臺

P12.XY100為二維直線掃描臺,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,運動直線性好,臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm 或35mm,滿足精密加工、掃描顯微等應(yīng)用。

開/閉環(huán)曲線

注:施加至壓電陶瓷的電壓約為輸入控制電壓的12倍。

閉環(huán)線性度

技術(shù)參數(shù)

型號:P12.XY100

運動自由度:X、Y

行程范圍@120V:80μm/軸

行程范圍@150V:100μm/軸

閉環(huán)傳感器:SGS

通孔尺寸:Ø25/Ø35mm

閉/開環(huán)分辨率:7/4nm

閉環(huán)線性度:0.1%F.S.

閉環(huán)重復定位精度:0.05%F.S.

推/拉力:25/8N

剛度:0.2N/μm

空載諧振頻率:X180/Y230Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間:15/0.8ms

承載:0.7kg

靜電容量:1.8μF/軸

材質(zhì):鋼、鋁

重量:200g

 

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