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XD302系列為開環(huán)式二維θX、θY運(yùn)動的壓電偏轉(zhuǎn)鏡，是專為高動態(tài)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，空載諧振頻率高達(dá)15kHz，且體積小巧，適于空間受限的應(yīng)用。

特點(diǎn)

二維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動

體積緊湊

開環(huán)，高分辨率

適于高動態(tài)應(yīng)用

應(yīng)用

XD302系列小體積壓電偏轉(zhuǎn)鏡適于激光加工快速掃描、激光光路穩(wěn)定等各種光路調(diào)節(jié)等。

兩種型號

XD302系列二維壓電偏轉(zhuǎn)鏡，具有XD302-D1與XD302-D2兩種型號，兩種型號的位移分別為3mrad、1.5mrad，兩個(gè)版本的空載諧振頻率都高達(dá)15kHz。并且，它們的體積非常緊湊，外徑僅15.6mm，高分別為30mm、21mm。

XD302-D1壓電偏轉(zhuǎn)鏡

XD302-D1技術(shù)參數(shù)

型號：XD302-D1

運(yùn)動方向：θx、θy

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：3或±1.5mrad

開環(huán)分辨率：0.03μrad

空載諧振頻率：15 kHz

帶載諧振頻率（φ12.5×3mm鏡片）：10 kHz

靜電容量：1.6μF/軸

材料：鈦合金、鋼

質(zhì)量：30g

驅(qū)動控制：三路驅(qū)動（含1路恒壓）

外徑/高：15.6/30mm

XD302-D2壓電偏轉(zhuǎn)鏡

XD302-D2技術(shù)參數(shù)

型號：XD302-D2

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：1.5或±0.75mrad

開環(huán)分辨率：0.02μrad

空載諧振頻率：15 kHz

帶載諧振頻率（φ12.5×3mm鏡片)：10 kHz

靜電容量：0.7μF/軸

材料：鈦合金、鋼

質(zhì)量：20g

驅(qū)動控制：三路驅(qū)動（含1路恒壓）

外徑/高：15.6/21mm

偏轉(zhuǎn)角度與驅(qū)動電壓曲線