壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動、1-3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應(yīng)用。壓電掃描臺可以實現(xiàn)單軸320μm的位移行程，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運動無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應(yīng)用的需求。
壓電掃描臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，超小的體積外形，可以實現(xiàn)大320μm的掃描范圍，35mm通孔對應(yīng)臺體外形尺寸為70×70×24mm。臺體采用FEA有限元分析優(yōu)化設(shè)計，具有零摩擦、超高導(dǎo)向精度、納米級分辨率等優(yōu)點。掃描臺內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷，確保了掃描臺的可靠性與穩(wěn)定性。
紅外熱成像掃描技術(shù)是利用探測器、光學(xué)成像物鏡和掃描系統(tǒng)接受被測目標的紅外輻射能量分布圖形反映到紅外探測器的光敏元上，在光學(xué)系統(tǒng)和紅外探測器之間，掃描機構(gòu)對被測物體的紅外熱像進行掃描，并聚焦在單元或分光探測器上，由探測器將紅外輻射能轉(zhuǎn)換成電信號，經(jīng)放大處理、轉(zhuǎn)換或標準視頻信號通過電視屏或監(jiān)測器顯示紅外熱像圖。
壓電掃描臺以其高頻率、高分辨率等特點應(yīng)用于紅外熱像儀中，大大提高了熱像儀成像的分辨率。平臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝到設(shè)備中。
壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，分辨率可以達到0.5nm，滿行程重復(fù)定位精度達納米級。
