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壓電納米定位產(chǎn)品具有納米級分辨率及定位精度，集成到各種相關(guān)儀器及機械設(shè)備中，從而實現(xiàn)高精度納米級定位與運動。了解壓電納米定位臺的基本工作原理及性能，來選擇適合您應(yīng)用的壓電納米定位臺吧。

什么是壓電納米定位臺？

壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運動的壓電平臺。運動范圍大可達375μm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性，壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

壓電納米定位臺性能

壓電納米定位臺采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu)，可實現(xiàn)亞納米級分辨率。芯明天N60.X系列壓電納米定位臺，配套E53系列壓電控制，可實現(xiàn)0.5nm的步進分辨率。

芯明天快速刀具定位臺采用大出力壓電陶瓷，大出力可達幾千牛頓，廣泛應(yīng)用于精密加工等領(lǐng)域。壓電納米定位臺由容性壓電陶瓷驅(qū)動，響應(yīng)時間可快至毫秒級。芯明天N65系列納米定位臺配套大功率E00/E01系列壓電控制器，可實現(xiàn)滿幅值階躍時間為1.5ms。平臺采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。芯明天壓電納米定位產(chǎn)品標準驅(qū)動電壓為0~120/150V，可產(chǎn)生大375μm位移行程。同時可以根據(jù)要求定制其他電壓驅(qū)動版本。

驅(qū)動控制系統(tǒng)

芯明天壓電陶瓷控制器通過模擬輸入或數(shù)字輸入控制，具有功率放大功能，且輸出電壓、輸出頻率可調(diào)。多種通道數(shù)及功能可選，可驅(qū)動各種壓電類產(chǎn)品，同時也可根據(jù)應(yīng)用需求提供定制服務(wù)。

應(yīng)用到那些領(lǐng)域

壓電納米定位臺帶動鏡片做精密運動，配合顯微鏡完成對光纖端面質(zhì)量的干涉檢測實驗。

利用快速刀具定位器超精密制造技術(shù)，實現(xiàn)光學非球面、自由曲面、微結(jié)構(gòu)與其陣列的元件及模具納米級超精密加工。

閉環(huán)納米定位臺與原子力顯微鏡相結(jié)合，可以實現(xiàn)375μm的掃描范圍，分辨率為亞納米級，響應(yīng)時間可達亞毫秒。

Z向壓電納米定位臺的作用是做納米級的微運動，精確調(diào)整待測物的位置，從而改變對應(yīng)條紋的寬度及位置，以達到更精確的表面測量。