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3D壓電式樣品定位臺(tái)

更新時(shí)間: 2021-03-13

P12A.XY200Z100系列壓電納米定位臺(tái)*樣品校準(zhǔn)應(yīng)用的要求,45mm×45mm大孔徑允許直接將物鏡放置在樣品下面。集成閉環(huán)反饋傳感器,保證長(zhǎng)期高精度樣品調(diào)整,一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動(dòng)無(wú)耦合。

 

產(chǎn)品特性

· 三維壓電式樣品定位臺(tái)
· 中心通孔45mm×45mm
· 定位精度高
· 運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)X250/Y250/Z100μm
· 快速響應(yīng)

 

閉環(huán)定位精度高

P12A.XY200Z100系列壓電納米定位臺(tái)配置高分辨率傳感器,對(duì)位置實(shí)時(shí)檢測(cè)并反饋到壓電控制器,控制器通過(guò)PID算法調(diào)整電壓修正位移,從而實(shí)現(xiàn)高精度定位。

 

帶載階躍時(shí)間

P12A.XY2Z100帶載100g,滿行程階躍時(shí)間60ms。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào):P12A.XY200Z100S

運(yùn)動(dòng)自由度XYZ

行程范圍(0~120V)XY200/Z80μm

行程范圍(0~150V):XY250/Z100μm

閉環(huán)傳感器:SGS

閉環(huán)分辨率:XY13/Z7nm

閉環(huán)線性度:XY0.1/Z0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:XY0.05/Z0.1%F.S.

空載諧振頻率:XY240/Z150Hz

承載能力:500g

靜電電容:XY7.2/Z1.8μF

材質(zhì):鋼、鋁

全國(guó)統(tǒng)一客服電話:

17051647888

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