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N63-N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺

供應數量：	1610
發(fā)布日期：	2024/12/31
有效日期：	2025/7/1
原產地：	哈爾濱
已獲點擊：	1610
產品報價：

[詳細資料]

N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺，一體式結構設計原理，壓電陶瓷直驅機構，可實現8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環(huán)版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應用。

特性

• 二維XY向運動，行程8μm/軸 • zui大承載3kg • 臺體中心方形通孔，尺寸Ø62mm

• 內置高性能壓電陶瓷 • 開環(huán)、閉環(huán)可選

外觀形狀	產品運動示意圖	臺體采用直驅式結構設計，出力大

一體式超薄結構、高分辨率、閉環(huán)精度高

頻率負載曲線

壓電陶瓷嵌套式一體結構

N63壓電掃描臺為XY二維平移掃描臺，平臺采用柔性鉸鏈導向壓電陶瓷直驅的機構設計，具有無間隙、無后坐力、無摩擦等特點，使其具有超高的分辨率達0.2nm。

可選擇內置高性能傳感器實現8×8μm范圍內超高的定位精度。

N63壓電掃描臺由于具有超薄的結構，臺體僅為17mm，中心通孔非常便于與顯微鏡配套安裝。

N63壓電掃描臺采用壓電陶瓷直驅機構設計原理，嵌套式機構使其具有非常良好的動態(tài)性能。

平穩(wěn)和精確的掃描圓形驅動

精準圓形驅動控制，可以通過精切定位XY平臺的每一軸，采用正弦波90°相差輸入，也可以通過PID修正位移進行調整，根據頻率幅值以及負載使得驅動控制平穩(wěn)精確。

應用

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 精密定位 •光學捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 半導體測試 • 表面檢測 • 光學計量 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術 • 表面結構分析

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