H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺(tái)
H61.XYZTR0壓電偏擺臺(tái)可產(chǎn)生六軸的超精密運(yùn)動(dòng)用于靜態(tài)六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉(zhuǎn)，中心50mmx50mm的通孔，適于透射光應(yīng)用。
特點(diǎn)
·六軸運(yùn)動(dòng)
·高承載能力
·正向靜態(tài)使用
·可選配閉環(huán)傳感器
典型應(yīng)用
·六軸超精密位置調(diào)整
·棱鏡位置調(diào)整
·光學(xué)應(yīng)用
·透射光應(yīng)用
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